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全自動水平式濕法刻蝕設備
全自動水平式濕法刻蝕設備
全自動水平式濕法刻蝕設備，利用EFEM晶圓傳輸模塊實現(xiàn)晶圓全自動工藝運行.
產品特點
1.產能高，WPH高； 2.優(yōu)秀的腔體環(huán)境； 3.高效的化學品回收系統(tǒng)； 4.支持多種化學品； 5.刻蝕均勻性好； 6.優(yōu)秀的干燥效果。
應用領域
晶圓制造等
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